超纯水又称高纯水或纯化水，超纯水是化学纯度很高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99%，其中杂质含量低于0.01mg/L。高纯水主要指水的温度为25℃时，电导率小于0.1us/cm ,pH值为6.8-7.0及去除其他杂质和细菌的水。高纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0.3mg/L以下,电导率小于0.2μs/cm。

　　EDI（电去离子）是一种将离子交换技术、离子交换膜技术和离子电迁移技术（电渗析技术）相结合的纯水提纯技术。该技术利用离子交换能深度脱盐来克服电渗析j化而脱盐不彻底，又利用电渗析j化而发生水电离产生H和OH离子实现树脂自再生来克服树脂失效后通过化学药剂再生的缺陷，是20世纪80年代以来逐渐兴起的新技术。EDI技术已经在北美及欧洲占据了相当部分的超纯水市场。

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